通販検索/いつも気楽に

【楽天ブックスならいつでも送料無料】液浸リソグラフィのプロセスと材料普及版 （エレクトロニクスシリーズ） [ 東木達彦 ]

エレクトロニクスシリーズ 東木達彦 シーエムシー出版BKSCPN_【高額商品】 エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ ヒガシキ,タツヒコ 発行年月：2012年08月 ページ数：243p サイズ：単行本 ISBN：9784781305509 東木達彦（ヒガシキタツヒコ） （株）東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第二部リソグラフィ技術開発第三担当グループ長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 液浸リソグラフィーとは／液浸露光用塗布現像装置／レチクル技術／液浸リソグラフィの光学系／液浸露光装置の開発／液浸用レジストの開発／液浸用トップコート材料／液浸レジスト材料の評価／含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用／偏光照明技術／高NA投影レンズの開発／次世代液浸露光用高屈折率液体の開発／次世代液浸リソグラフィの光学系／32nmハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開 本 科学・技術 工学 電気工学

【楽天ブックスならいつでも送料無料】液浸リソグラフィのプロセスと材料 （エレクトロニクス材料・技術シリ-ズ） [ 東木達彦 ]

エレクトロニクス材料・技術シリーズ 東木達彦 シーエムシー出版エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ ヒガシキ,タツヒコ 発行年月：2006年10月 ページ数：243p サイズ：単行本 ISBN：9784882315841 東木達彦（ヒガシキタツヒコ） （株）東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第二部リソグラフィ技術開発第三担当グループ長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 液浸リソグラフィーとは／液浸露光用塗布現像装置／レチクル技術／液浸リソグラフィの光学系／液浸露光装置の開発／液浸用レジストの開発／液浸用トップコート材料／液浸レジスト材料の評価／含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用／偏光照明技術／高NA投影レンズの開発／次世代液浸露光用高屈折率液体の開発／次世代液浸リソグラフィの光学系／32mmハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開 本 科学・技術 工学 電気工学